基本测量单元 ：

测量室，真空泵，带加热器的支架，电子颊侧装置，集成锁相放大器，3w方法分析软件，计算机和应用软件。可测以下物理参数：

 l -热传导系数 (稳态法/平面内方向)

 r - 电阻率

 s - 电导率

 S - 赛贝克系数

 e – 发射率

 cp - 比热容

磁测量单元

可根据需求选择集成式电磁铁，可测物理参数如下：

 AH - 霍尔常数

 μ –迁移率

 n -载流子浓度

薄膜材料性能有别于块体材料之处

-        因小尺寸和高纵横比所导致的表面效应如：边界散射和量子限域效应